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XPS 所屬欄目:元素類

測(cè)試項(xiàng)目:

原則上可以測(cè)試除H,He之外的元素,說(shuō)明如下:

1. 元素的價(jià)態(tài)及半定量分析。小于1%的元素可能測(cè)不出明顯信號(hào)。

2. 俄歇譜、價(jià)帶譜和刻蝕(<5nm)。刻蝕一般在5 nm以內(nèi)。

3. 含鐵鈷錳鎳元素的定性為磁性樣品,樣品含S,F(xiàn)等元素或其他特殊需求需要咨詢交流。


樣品要求:

1. 樣品狀態(tài):可為粉末、塊狀、薄膜樣品

2. 粉末樣品:20-30mg

3. 塊狀、薄膜樣品:塊體/薄膜樣品尺寸小于5*5*3mm


常見(jiàn)問(wèn)題及回答:

某些價(jià)態(tài)會(huì)掃不出來(lái)嗎?

不會(huì),全譜能量很高。如果測(cè)不出來(lái),要么就是污染碳很高,要么就是含量很少。一般是后者原因居多。

每種元素的檢測(cè)限一樣么?

不一樣。每種元素的主峰的靈敏度因子都不一樣。

怎么判斷擬合是好是壞,是擬合了兩個(gè)峰算好還是擬合了三個(gè)峰算好?


看波動(dòng)大小,越小越好;還要看對(duì)應(yīng)的物理意義。波動(dòng)如下圖所示。具體擬合幾個(gè)峰,要參考樣品本身的情況,以及擬合的貼合度,沒(méi)有嚴(yán)格的界定哪個(gè)更好。


image.png


結(jié)果展示:

250xi 是相對(duì)常用的設(shè)備,其結(jié)果如下:


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測(cè)試結(jié)果給出的是VGD格式和excel格式測(cè)試結(jié)果。Excel格式文件用origin軟件作圖;VGD格式文件可以用AVANTAGE分析軟件打開(kāi)。


PHI的格式如下:


image.png


測(cè)試結(jié)果給出的是原始文件pdt格式和excel格式測(cè)試結(jié)果。Excel格式文件用origin軟件作圖;pdt需要特定軟件multipak打開(kāi)。


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