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有機(jī)高純氣體分為：

烷烴類(lèi)：甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環(huán)丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、環(huán)氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等;

烯烴類(lèi)：乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等;

炔烴類(lèi)：乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等;

其他：二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等

無(wú)機(jī)高純氣體分為：

1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等;

2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等;

3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)(部分)：

GB/T 18994-2014 電子工業(yè)用氣體高純氯

GB/T 3634.2-2011 氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫

GB/T 4844-2011 純氦、高純氦和超純氦

GB/T 8979-2008 純氮、高純氮和超純氮

GB/T 14599-2008 純氧、高純氧和超純氧

GB/T 17873-2014 純氖和高純氖

GB/T 18994-2014 電子工業(yè)用氣體高純氯

HG/T3633-1999 純甲烷

GB/T14599-1993 高純氧高純